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氣體流量控制器選擇小貼士

2020.07.03

氣體流量是部分大氣等離子清洗機和真空等離子清洗機處理效果是否穩定的重要技術(shù)參數，不同類(lèi)型的等離子清洗機、使用不同的工藝氣體，對于氣體流量控制器的選擇會(huì )有所不同。我們總結了一些氣體流量控制器選擇的小貼士，現分享給大家。

1、大氣等離子清洗機的流量控制器選擇

根據放電形式不同，大氣等離子清洗機放電所需氣體條件也是有講究的。常見(jiàn)的射流型和射頻型大氣等離子清洗機，應該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會(huì )產(chǎn)生穩定的等離子體，以保證設備的正常運行。通常的流量控制方式是以調壓閥和手動(dòng)浮子流量計配合的方式來(lái)保證工作氣壓和氣流的穩定。

大氣等離子清洗機建議選用帶有流量控制器的氣源來(lái)為其提供穩定的工作氣體。此裝置的優(yōu)點(diǎn)是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續穩定。

2、真空等離子清洗機的流量控制器選擇

工藝氣體流量的穩定性，會(huì )影響工業(yè)型真空等離子清洗機的處理效果，大多數工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機都是選用質(zhì)量流量控制器來(lái)實(shí)現對工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機實(shí)際使用過(guò)程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機也會(huì )用到0~1SLM規格的質(zhì)量流量控制器。

注：?jiǎn)挝籗CCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

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